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VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机

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  • 产品名称:VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机
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简单介绍

VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机是一种满足半导体TSV、MEMS、WLP等工艺制程中异形表面的喷胶作业设备。是一种采用高精度微量液体平流传输和超声波雾化震荡技术均匀喷涂在一定温度的物件表面,多次沉积成均匀涂层膜的纳米喷胶设备。VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机采用不锈钢机身,桌面台式设计,结构紧凑,七寸全彩触屏界面,高精密电缸控制,整体设计布局合理,简单易用。

产品描述


 

产品名称

VTC-100-SE基本型桌面式喷胶机

主要特点

1、可台面式操作,外形尺寸紧凑

2、超声波雾化或二流体雾化喷嘴可选

3、底盘旋转加热,XY电缸移动式喷胶

4、可处理*大基片尺寸为8寸晶圆,向下兼容

技术参数

1、热盘温控范围:室温—150℃,温度分辨率:0.1℃

2、温度均匀性:小于±1%(工作范围内)

3、胶体流速范围:1-20ml/min

4、电缸移动速度:1-200㎜/s

5、电缸定位精度:±0.02㎜

6、电缸有效行程:300×300㎜

7、超声波雾化粒径:小于50μm

产品规格

外形尺寸:928(W)×800(D)×510(H)㎜

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