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1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV

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  • 产品型号:GSL-1700X-4-C2HV
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简单介绍

1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成,蕞高工作温度可达1600℃,混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入管式炉内部,本系统极限真空度可达10-5 torr。

产品描述

产品型号

1700℃两通道混气高真空CVD系统GSL-1700X-4-C2HV

主要特点

1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。

2、采用高纯氧化铝纤维,有效减少热量损失。

3内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和使用寿命

4采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序。

5已通过CE认证。

技术参数

管式炉

1电源:单相AC 208-240V  50/60Hz  6KW

2、炉管:高纯氧化铝陶瓷管,外径Φ100mm,内径Φ92mm,长1000mm

3、加热元件:1800℃硅钼棒8

4、加热区域:457mm

5、恒温区域:150mm

6工作温度:蕞高1650连续工作1600

7、蕞大升温速率:≤5/min

8、控温精度:±1

9、热电偶:B

10、不锈钢真空法兰:1

11、机械压力表:1

12、针阀:2

13、连接器:KF-251

14、抽气接口:KF-25KF-40

15、卡套接头:1/4

高真空机组

1、电源:单相AC208-240V  50/60Hz  100-110W

2、真空泵:德国Pfeiffer真空泵

3、显示屏:LCD数字显示

4、抽气速率:N2-33L/sHe-39L/sH2-32L/s

5、工作范围:1000mtorr-10-7mtorr

6、极限:10-8mtorr(无泄漏)

质量流量混气系统

1、电源:单相AC208-240V  50/60Hz  18W

2、功率:18W

3混气箱:Φ80mm×120mm

产品规格

尺寸:管式炉550mm×380mm×520mm,高真空机组600mm×600mm×700mm,质量流量混气系统600mm×600mm×700mm

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