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1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

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  • 产品名称:1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV
  • 产品型号:GSL-1700X-F3LV
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简单介绍

1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV是由单温区管式炉、三路浮子混气系统和双旋片式真空泵组成,蕞高工作温度可达1700℃,混气系统可以对三种气体进行精确的混气,真空度可达5×10-2 torr。

产品描述

产品型号

1700℃单温区三通道混气CVD系统GSL-1700X-F3LV

主要特点

1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<55℃。

2、采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,有效减少能量损失。

3内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高加热效率和延长使用寿命

4采用PID控制器 ,可以设置30段升降温程序,并设有过热和断偶保护功能。

5已通过CE认证。

技术参数

管式炉

1电源:单相AC 208-240V  50/60Hz  5KW

2、炉管:99.8%高纯氧化铝陶瓷管,外径Φ80mm,内径Φ72mm,长1000mm

3、加热元件:1800级硅钼棒8

4、加热区域:457mm

5、恒温区域:150mm

6工作温度:蕞高1700

7、蕞大升降温速率:5/min

8、控温精度:±1

9、真空度:5×10-2 torr

10、泄漏率:蕞大6mtorr/min

真空系统

1、真空泵:双旋片机械泵

2、可达真空度:5×10-2 torr

3、法兰:不锈钢密封法兰

4、针阀:2个不锈钢针阀

5、真空泵接口:KF-25

6、软管接头:1/4

7、真空显示计:LED数字式真空显示计,测量范围0.1mtorr-850torr

浮子流量混气系统

1、浮子流量计:3个,精确度4%FS

2、流量计范围:10-100cc/min16-160cc/min25-250cc/min

3、压力表:1个,监测混合气体压力

产品规格

尺寸:管式炉550mm×500mm×700mm,混气系统600mm×600mm×700mm,真空机组600mm×600mm×700mm

重量:210kg

可选配件

防腐型数字真空显示计

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