主营产品:

SYJ-200精密切割机,压力研磨抛光机,精密研磨抛光机,双靶磁控溅射仪,蒸发镀膜仪,金刚石线切割机

产品搜索
产品目录

总机:024-23826163 23826164
分机:
805 812 825 821 811 808       
销售热线:

  18624331856  18624331865 

  18624331992  18624331806 

  18624331853    

售后热线:18624331680

传真:024-23826165

E-mail:kejing@sykejing.com


               

微型PECVD系统

  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:微型PECVD系统
  • 产品型号:微型PECVD系统
  • 产品展商:其它品牌
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍

微型PECVD系统采用Φ 3" × 16" 的石英腔体,内部设有加热圈对样品进行加热,蕞高温度可以达到400℃,且采用程序化控温,系统还配有2通道混气装置和双旋机械泵,整套系统安放于移动架上,便于实验操作。本系统系对于薄膜生长和纳米线的制作是蕞佳的选择。

产品描述

产品型号

微型PECVD系统

主要特点

1、加热圈套有石英罩,以减小热量损失。

2、样品可置于加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度均匀性。

3、采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序。

4、设有一滑动法兰安装于移动加上,以便于样品的放入和取出。

5、已通过CE认证。

技术参数

等离子源

1、等离子体射频电源:110/220V  50/60Hz  <100W

2、输出频率:13.56MHz

3、射频功率:7.2W10.5W18W三档,可调节

4、腔体尺寸:外径Φ76.2mm×内径Φ68.58mm×长406.4mm

5、加热圈:电源220V,蕞大功率500W外径Φ50mm×内径Φ40mm×70mm,并套有内径Φ50.8mm×Φ75mm的石英罩

6、法兰:Φ3″不锈钢法兰,设有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接头、不锈钢针阀

7、通入气体:可通入多种惰性气体,如N2Ar,不可通入易燃易爆性气体

8、真空度:10-2torr(机械泵)

两通道混气系统

1浮子流量计:10-100ml/min2

2、针阀:304不锈钢针阀,3

3压力表:-0.1-1.0MPa0.01MPa/grid),3

真空泵

1、抽气速率:120L/min

2、接口:KF-25

产品规格

1、尺寸:等离子源216mm×254mm×203mm,控制盒102mm×254mm×203mm,两通道混气系统340mm×300mm×180mm ,移动架600mm×600mm×1250mm

2、重量:32kg

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

辽公网安备 21011202000257号