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SYJ-200精密切割机,压力研磨抛光机,精密研磨抛光机,双靶磁控溅射仪,蒸发镀膜仪,金刚石线切割机

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多路质量流量供气系统

  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:多路质量流量供气系统
  • 产品型号:混气系统2路质子GSL-2Z、混气系统3路质子GSL-3Z、混气系统4路质子GSL-4Z
  • 产品展商:其它品牌
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍

多路质量流量供气系统是用于控制一种到多种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架内,管式炉可以放在移动架上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀,可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响,在半导体和集成电路、特种材料、化学、石油、医药、环保和真空等领域中有着重要的作用,广泛用于电子工艺,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射、光纤熔炼及其它分析仪器。

产品描述
                                                                   混气系统2路质子GSL-2Z操作视频

产品型号

混气系统2路质子GSL-2Z、混气系统3路质子GSL-3Z、混气系统4路质子GSL-4Z

主要特点

精度高,运行稳定可靠,工作压力范围宽,可在高压或真空条件下工作,且操作使用方便。

技术参数

1、电源:185-245V  50Hz

2、蕞大输出功率:18W

3、控制范围:GSL-2Z控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM

                   GSL-3Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM

                   GSL-4Z控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM

4、蕞大压力:3×106 Pa

5、准确度:±1%FS

6、线性:±0.5-1.5%

7、重复精度:±0.2%FS

8、响应时间:气特性1-4s,电特性10s针阀:316不锈钢

9、工作压差范围:0.1-0.5 MPa

10、压力表测量范围:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

11、混气罐:Φ80mm×120mm

12截止阀:Φ1/4″316不锈钢针阀

13、工作温度:5-45

产品规格

尺寸:600mm×600mm×650mm

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