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SYJ-200精密切割机,压力研磨抛光机,精密研磨抛光机,双靶磁控溅射仪,蒸发镀膜仪,金刚石线切割机

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总机:024-23826163 23826164
分机:
805 812 825 821 811 808       
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小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP

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  • 产品名称:小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP
  • 产品型号:OTF-1200X-4-RTP
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简单介绍

小型1000℃RTP炉OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4″ 石英管和真空法兰, 是专为半导体或太阳能电池基片(蕞大3″)的退火而设计。本机采用10KW红外灯管加热,蕞快升温速度为 50℃/s,设有30 段温度控制,精度为±1℃。此外,通过RS485口和控制软件可在计算机上实现实时控制和温度曲线显示。

产品描述

产品型号

小型1000RTPOTF-1200X-4-RTP

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:设备需配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水)

2、电:AC220V 50Hz(35A空气开关),必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带Ø6mm双卡套接头)

4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、内炉膛表面涂有进口的高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率,同时可延长其使用寿命。

2石英样品架固定在滑动法兰上,使样品装载更加容易

3样品架上放置76mm3"AlN,承载需要退火的样品AIN具有很高的热导率,可使样品放置的区域有很好

      的温度均匀性±5℃)。

4内插式热偶保证了温度的准确

5采用PID自动温度控制,30段程序,并设有过热和断偶保护功能及自整定功能

6、已通过CE认证。所有电器元件(>24V)都通过了UL/MET/CAS认证。若用户自行承担认证费用,本司保证

      台设备通过德国TUV认证和CAS认证。

7、可增加镀SiC的石墨坩埚改造成RTE炉(快速热蒸发炉)。

     

技术参数

1电源:208V-240V AC50Hz/60Hz单相,蕞大功率9KW>60A保险)

2、炉体结构:双层莫来石钢构(不带水冷或风冷)

3石英管外径Ø110mm,内径Ø103mm,长380mm

4样品架76mm

5、加热元件:8根红外灯管,灯丝长200mm丝圈Ø10mm灯长300mm

            

6恒温区102mm×305mm,均匀性±5

7热偶:K型热偶

8、温度:蕞高温度1100℃,额定温度1000(警告:在1000-1100℃下保温时间不超过600s,否则O型圈将被烧融)

9、控温精度:±1

10、蕞快升温速度:RT-800℃内50/s800-1000℃内10/s

11、蕞快降温速度:60/min(在200mtorr下),117/min(在一个大气压下)

12、真空度:50mtorr(机械泵),10-4torr(分子泵)

13真空法兰 带有KF-D25高真空不锈钢法兰配有两个高温O型圈密封

14、流量计:16ml/min-160ml/min

15、真空计:数字真空计,测量范围10mtorr-800torr(注意:此表在氮气下校准的,只有在氮气和空气下表上显示的实

                        际压力,当通入任何其他气体时,必须参考说明书中的相对气体对照表,否则后果会严重)

16、水冷:如要求通冷却水,请确定冷却水流速3L/min水温20水压25PSI(建议采用循环水制冷器作为冷却系

                   统)

产品规格

尺寸:760mm×330mm×530mm;重量:45kg

标准配件

1

AIN基片

1

2

石英样品架

1

3

石英管

1

4

石英挡板

4

5
红外灯管
8
6 真空法兰
1套
7

KF-D25快接

2套
8

数字真空计

1个
9 高温手套
1

10

高温硅胶圈

6个

11

聚氨酯水管(外径Ø12mm、内径Ø8mm

1

12
水管接头 2个
13 63A保险 2个

14

4A保险

2个

可选配件 1真空泵

2波纹管KF-D25接口)(1m

3KF-D25快接

4、防腐型数字式真空显示计(测量范围3.8×10-5torr-1125torr,不需要因测量气体的种类不同而进行系数转换)

5RS485串口和控温软件

注意事项

1、炉管内气压不可高于0.02MPa

2、由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。(建议选购本司的减压阀,量程为

      0.01MPa-0.1MPa,更加精确安全)

3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。

4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

5、石英管的长时间使用温度<1100℃。

6、对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注

      压力表的示数。若气压表示数大于0.02MPa,必须立即打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂、法兰飞出等)。


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