主营产品:

SYJ-200精密切割机,压力研磨抛光机,精密研磨抛光机,双靶磁控溅射仪,蒸发镀膜仪,金刚石线切割机

产品搜索
产品目录

总机:024-23826163 23826164
分机:
805 812 825 821 811 808       
销售热线:

  18624331856  18624331865 

  18624331992  18624331806 

  18624331853    

售后热线:18624331680

传真:024-23826165

E-mail:kejing@sykejing.com


               

VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪

  • 如果您对该产品感兴趣的话,可以
  • 产品名称:VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪
  • 产品型号:VTC-600-2HD
  • 产品展商:沈阳科晶
  • 产品文档:无相关文档
简单介绍

VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪是*新研制开发的镀膜设备,可用于制备单层或多层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜、半导体薄膜、陶瓷薄膜、介质薄膜、光学薄膜、氧化物薄膜、硬质薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。与同类设备相比,其不仅应用广泛,且具有体积小便于操作的优点,是一款实验室制备材料薄膜的理想设备。

产品描述

产品型号

VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪

主要特点

1配置两个靶枪,一个为配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜,一个为配套直流电源用于导电类材料的溅射镀膜。

2、可制备多种薄膜,应用广泛。

3、体积小,操作简便。

技术参数

1、电源电压:220V   50Hz

2、总功率:2KW

3、极限真空度:E-6mbar(配合本公司设备使用可达到E-5mbar

4、工作温度:室温-500℃,精度±1℃(可根据实际需要提升温度)

5、靶枪数量:2个(可选配其他数量)

6、靶枪冷却方式:水冷

7、靶材尺寸:Φ2,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)

8、直流溅射功率:500W(可选)

9、射频溅射功率:300W/500W(可选)

10、载样台:Φ140mm

11、载样台转速:1-20rpm内可调

12、保护气体:ArN2等惰性气体

13、进气气路:质量流量计控制2路进气,每个流量为100SCCM

产品规格

主机尺寸:500mm×560mm×660mm,整机尺寸:1300mm×660mm×1200mm;重量:160kg

标准配件

1

直流电源控制系统

1

2

射频电源控制系统

1

3

膜厚监测仪系统

1

4

分子泵(德国进口)

1

5

冷水机

1

6

冷却水管(Φ6mm

4

7

靶材(不锈钢靶、陶瓷靶)

1

可选配件

金、铟、银、白金等各种靶材

VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪操作参考视频

产品留言
标题
联系人
联系电话
内容
验证码
点击换一张
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

辽公网安备 21011202000257号